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1992 年 11 月從佳霖科技獨立成立的分公司 主要 Cryopump 維修業務 http://www.cryotech.com.tw 2004 年 4 月成立 主要為半導體、化合物半導體、平面顯示器、 光電及能源節約產品之代理業務，並從事Cryopump的維修業務 http://www.challentech.com.cn 2004 年 6 月投資 主要營業項目為生醫類相關產品，晶圓及面板測試卡，微機電製程研發及代工服務 http://rigidtech.myweb.hinet.net 2000 年 2 月投資 主要產品項目為專業半導體清洗設備 http://www.gptc.com.tw

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