高速外觀檢查器 搭載4M高解度灰階或彩色高速檢查系統
反射測量器 Tera Evaluator是利用FIR波長特性來做橢偏儀的新量測應用因為採用反射光量測 所以適用於非透明材料的薄..
水洗雷射切割保護液 1. 膠可耐至350度且切割過程中的高溫下保持穩定,防止殘屑回沾 2. 純水沖洗去除保護液即可 3. 不會有金屬..
氣體解鍵合設備 1. 可於常溫下進行Air De-bond 2. Glass, Substrate等載體皆可使用 3. 膠可耐至350度
晶圓式溫度計 1. 具有不同材質的wafer(K,R,S type) 2. 可客製化 3. 自製軟體可對應KLA TC wafer
RD-70BE 1. 晶圓代工製程専用液體成分濃度計 2. 利用光學式非接觸測定液體測定原理可高精度的檢測製程中酸、鹼、 ..
High Purity Pumps 高潔淨泵浦是100%不含金屬及塑料密封墊片,在處理危險性或高純度化學品的半導體應用上,可防止內部化學品..