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  • D8 Fabline / XRD & u-XRF
  • 產品廠牌: Bruker
    產品簡述: X光单晶绕射仪量测单晶样品厚度、 晶格常数、密度、结构组成成分分析

    原厂国家:德国
    制程应用:
      应用于半导体薄膜 or bump 的量测,量测项目包含厚度,成分及晶体之结晶度。有全自动化配备
    相关连结:  http://www.bruker.com/

製程說明
1.   非破坏性检测仪器。
2.  模块化设计,可提供功能升级的最大可能性。
3.  量测单晶样品或Bump厚度、晶格常数、结构组成成分分析、密度等。
4.  可在同一Detector上,同时拥有两种量测模式(1)高强度(2)高分辨率,仅以软件上操作即可。
5.  具有4种以上内建软件算法。
6. EDX solution
7. 可量到20um的bump或以下