MDPinline

BRAND： Freiberg Instrument
DESCRIPTION： 量测硅晶圆、磊晶层、全制程或半制程的半导体组件以及化合物半导体的少数载子生命周期、阻抗及薄膜厚度
原厂国家： 德国
制程应用： 1.可量测lifetime (mapping)
                    2.Resistivity (linescan)
                    3.thickness (linescan)
                    4.材料: silicon wafer, epi layer, partially or
                       fully processed wafer,compound
                       semiconductor.
相关连结： http://www.freiberginstruments.de/
关键字    ： 太阳能,量测

1. 可做在线矩阵式量测, 一片芯片量测时间约一秒
2. 根据少数载子寿命数值建立芯片分类等级机制
3. 在稳态状态下量测少数载子寿命 (u-PCD 方式也可选择)

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