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  • 產品廠牌: Freiberg Instrument
    產品簡述: 量測矽晶圓、磊晶層、全製程 或半製程的半導體元件以及 化合物半導體的少數載子生命週期、 阻抗、光束誘導電流以及含鐵濃度

    原廠國家: 德國
    製程應用:
     1.可量測lifetime (mapping)
                       
    2.Resistivity
                       
    3.LBIC
                       
    4.Iron濃度
                        5.Conduction type: P/N
                        6.材料: silicon wafer, epi layer, partially or
                           fully processed wafer, compound
                           semiconductor.

    相關連結:  http://www.freiberginstruments.de/
    關鍵字    :太陽能,量測

製程說明
1. 單機矩陣式量測一片晶片量測時間約5分鐘內完成
2. 根據少數載子壽命 數值建立晶片分類等級機制
3. 在穩態狀態下量測 少數載子的壽命  (u-PCD 方式也可選擇)
4.機台可自動調整至參數最佳量測模式 
 
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