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  • 臭氧产生器 OG-5000
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 高浓度臭氧产生器使用于有臭氧的制程
    原厂国家:  美国
    制程应用:- 化学气相沉积化学气相沉积
                      - 原子层沉积系统
                      - 氧化层                              
    相关连结: http://teledyne.com/
    关键字   :
      臭氧
製程說明
- 可产生高纯度高浓度臭氧
- 相较其他制程气体而言较不产生环境污染之问题
- 低售价
- 无耗材
- OG-5000-A 臭氧产量 210g/hr
- OG-5000-B 臭氧产量 150g/hr