原厂国家: 美国 制程应用:- 化学气相沉积化学气相沉积 - 原子层沉积系统 - 氧化层 相关连结: http://teledyne.com/ 关键字 : 臭氧
- 可产生高纯度高浓度臭氧 - 相较其他制程气体而言较不产生环境污染之问题 - 低售价 - 无耗材 - OG-5000-A 臭氧产量 210g/hr - OG-5000-B 臭氧产量 150g/hr