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  • 臭氧解離器. CAT-O3-E
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 臭氧解離器可在製程暫停時解離 臭氧產生器所製造之臭氧形成氧氣, 再排放於大氣中

    原廠國家:美國
    製程應用:
    - 化學氣相沉積化學氣相沉積
                       - 原子層沉積系統
                       - 有機金屬化學氣相沉積系統
    相關連結: http://teledyne.com/
    關鍵字    臭氧


製程說明
 - 催化劑為基礎的臭氧破壞
 - 快速反應時間
 - 環境安全的副產品
 - 無耗材
 - 不需維修保養
 - 簡易的安裝.設計
 - 解離能力:23% w/w or 350g/Nm³
 - 臭氧解離後之臭氧濃度: < 0.01ppm
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