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  • 臭氧解离器. CAT-O3-E
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 臭氧解离器可在制程暂停时解离 臭氧产生器所制造之臭氧形成氧气, 再排放于大气中

    原厂国家:美国
    制程应用:
    - 化学气相沉积化学气相沉积
                     - 原子层沉积系统
                     - 有机金属化学气相沉积系统
       
    相关连结:
    http://teledyne.com/
    关键字臭氧

製程說明
- 催化剂为基础的臭氧破坏
- 快速反应时间
- 环境安全的副产品 
- 无耗材
- 不需维修保养
- 简易的安装.设计
- 解离能力:23% w/w or 350g/Nm³
- 臭氧解离后之臭氧浓度: < 0.01ppm