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  • 終點偵測器. OPTI-Sense 5000.
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 偵測清潔製程腔體的清潔製程終點

    原廠國家:   美國
    製程應用:
    - 壓力範圍: 0.2~1400 Torr
                       - 溫度範圍: 4~45℃
                       - 反應時間: < 2秒
                       - 數位輸出:RS-232-c

    相關連結: http://teledyne.com/

    關鍵字    :   臭氧

製程說明
- 可即時量測
- 無活動式零件
- 數位輸出
- 快速的反應時間
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