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  • EpiTT/EpiTwinTT/EpiTripleTT
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: 在线实时监控GaAs, InP, GaN 磊晶温度及长晶速率

    原厂国家: 德国
    制程应用:
       LED在线实时GaAs, InP, GaN 磊晶温度,
                        晶速率量测监控。

    相关连结: http://www.laytec.de/epitt/

製程說明
1.  在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控:
> 发散率(emission)及反射率(reflectance)
> 磊晶速率计算(growth rate)
> 磊芯片之实际温度(wafer true temperature)
2.  独家双波长量测技术 (950nm+633nm/405nm)。
3.  光纤讯号传送,准确快速。
4.  应用于GaN、GaAs、InP之监控。
5.  模块化设计,体积轻巧。
6.  方便快速的磊晶速率分析软件。
7.  备有可套用于MOCVD and MBE之沟通软件