Products

目前位置：首頁/產品櫥窗/化合物半導體/LayTec

EpiCurveTT (for Planetary MOCVD)/EpiCurveTT Two (for CRIUS MOCVD)/EpiCurveTwinTT (for CRIUS MOCVD)/EpiCurveTT AR (Blue) (for Planetary MOCVD)

產品廠牌：

LayTec

產品簡述：

LED線上即時GaAs, InP, GaN 磊晶溫度,長晶速率及晶片曲率量測監控。

原廠國家： 德國
制程應用： LED線上即時GaAs, InP, GaN 磊晶溫度,長
晶速率量測監控。

相關連結： http://www.laytec.de/epicurve/

製程說明

1. 在磊晶過程中進行LED磊晶片的及時監控：
> 發散率(emission)及反射率(reflectance)
> 磊晶速率計算(growth rate)
> 磊晶片曲率(curvature)
> 磊晶片之實際溫度(wafer true temperature)
2. 獨家雙波長量測技術 (950nm+633nm/405nm)。
3. 光纖訊號傳送，準確快速。
4. 應用於GaN、GaAs、InP之監控。
5. 模組化設計，體積輕巧。
6. 方便快速的磊晶速率分析軟體。
7. 備有可套用於MOCVD and MBE之溝通軟體

相關產品