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  • Pyro 400 (for Planetary MOCVD)
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: 線上即時監控PSS以及 GaN 基板表面溫度
    原廠國家:  德國
    制程應用:
      LED線上即時PSS以及GaN 磊晶表面溫度監
                       控,特別適用4吋以上substrate。

    相關連結:  http://www.laytec.de/pyro400/
製程說明
1.  在磊晶過程中進行LED磊晶片的及時監控:
> 針對PSS、GaN Epi wafer量身訂做的實際表面溫度監控技術(wafer surface true temprature)
> 磊晶片表面發散率(emission) 
2.  應用於4"以上之大尺寸晶片。
3.  光纖訊號傳送,準確快速。
4.  擷取波長400nm可即時量測磊晶片真實表面溫度 以控制波長並提升良率。
5.  與EpicurveTT搭配,可即時了解subtrate表面溫度及曲率的關係。
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