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  • Pyro 400 (for Planetary MOCVD)
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: 在线实时监控PSS以及 GaN 基板表面温度

    原厂国家: 德国
    制程应用:
      LED在线实时PSS以及GaN 磊晶表面温度监
                       控,特别适用4吋以上substrate

    相关连结: http://www.laytec.de/pyro400/

製程說明
1.  在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控:
> 针对PSS、GaN Epi wafer量身订做的实际表面温度监控技术(wafer surface true temprature)
> 磊芯片表面发散率(emission) 
2.  应用于4"以上之大尺寸芯片。
3.  光纤讯号传送,准确快速。
4.  撷取波长400nm可实时量测磊芯片真实表面温度 以控制波长并提升良率。
5.  与EpicurveTT搭配,可实时了解subtrate表面温度及曲率的关系。