原厂国家: 德国 制程应用: LED在线实时PSS以及GaN 磊晶表面温度监 控,特别适用4吋以上substrate。 相关连结: http://www.laytec.de/pyro400/
1. 在磊晶过程中进行LED磊芯片的及时监控: > 针对PSS、GaN Epi wafer量身订做的实际表面温度监控技术(wafer surface true temprature) > 磊芯片表面发散率(emission) 2. 应用于4"以上之大尺寸芯片。 3. 光纤讯号传送,准确快速。 4. 撷取波长400nm可实时量测磊芯片真实表面温度 以控制波长并提升良率。 5. 与EpicurveTT搭配,可实时了解subtrate表面温度及曲率的关系。