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  • AbsoluT
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: Laytec溫度探測頭的校溫工具

    原廠國家: 德國
    制程應用:
     快速方便的sensor heard精確溫度校正工具。
    相關連結:  http://www.laytec.de/absolut/

     

製程說明
1. 無需使用傳統eutetic wafer校溫,使用波長950nm標準光源快速執行sensor之溫度校正。
2. 大幅提高機台uptime時間以及製程參數的可靠性。
3.大幅降低因viewport差異所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的溫度讀值差異,精確度可到1度K。
4.  模組化設計,體積輕巧。
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