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  • AbsoluT
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: Laytec温度探测头的校温工具

    原厂国家: 德国
    制程应用:
     快速方便的sensor heard精确温度校正工具。
    相关连结:  http://www.laytec.de/absolut/

製程說明
1. 无需使用传统eutetic wafer校温,使用波长950nm标准光源快速执行sensor之温度校正。
2. 大幅提高机台uptime时间以及制程参数的可靠性。
3.大幅降低因viewport差异所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的温度读值差异,精确度可到1度K。
4.  模块化设计,体积轻巧。
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