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LEI 1500 serials

產品廠牌：	Lehighton
產品簡述：	量測矽晶圓、化合物半導體、金屬導電薄膜之片電阻。
原廠國家：美國製程應用：可應用量測於矽晶圓、化合物半導體、金屬導電薄膜。相關連結： http://www.lehighton.com

製程說明

1. 無需與待測物接觸即能量測片電阻值，不會造成因接觸所產生的產品損壞。
2. 阻值量測範圍廣：0.035~3000 Ohm/Square 或更廣。
3. 適用範圍 2"~8" wafers 以及 Flat Panel。
4. 針對不同客戶需求提供手動或自動機台。
5. 提共阻值mapping，最高可以量測至300 點。
6. 2D 等高線圖 or 3D mapping。
7. 自動溫度飄移補償。
8. 軟體自動校正功能, 可以追溯到 VLSI 標準。
9. 可以量得以下Wafer 之片電阻值：
• GaAs wafers (epi, annealed ion-implants on semi-insulating and some doped* substrates)
• Silicon wafers (bulk Si, epi, annealed ion-implants, and POCl3 doping uniformity on high resistivity substrates)
• 金屬化合物之薄膜

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