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  • LEI 1500 serials
  • 產品廠牌: Lehighton
    產品簡述: 量測矽晶圓、化合物半導體、 金屬導電薄膜之片電阻。

    原廠國家: 美國
    製程應用:
    可應用量測於矽晶圓、化合物半導體、金屬導
                             電薄膜。

    相關連結: http://www.lehighton.com

製程說明
1.  無需與待測物接觸即能量測片電阻值,不會造成因接觸所產生的產品損壞。
2.  阻值量測範圍廣:0.035~3000 Ohm/Square 或更廣。
3.  適用範圍 2"~8" wafers 以及 Flat Panel。
4.  針對不同客戶需求提供手動或自動機台。
5.  提共阻值mapping, 最高可以量測至300 點。
6.  2D 等高線圖 or 3D mapping。
7.  自動溫度飄移補償。
8.  軟體自動校正功能, 可以追溯到 VLSI 標準。
9. 可以量得以下Wafer 之片電阻值:
• GaAs wafers (epi, annealed ion-implants on semi-insulating and some doped* substrates)
• Silicon wafers (bulk Si, epi, annealed ion-implants, and POCl3 doping uniformity on high resistivity substrates)
• 金屬化合物之薄膜
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