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  • LEI 1600 serials
  • 產品廠牌: Lehighton
    產品簡述: 量測矽晶圓、化合物半導體、 金屬導電薄膜之片電阻。

    原廠國家: 美國
    製程應用:
    可應用量測於矽晶圓、化合物半導體、金屬導
                       電薄膜。
    相關連結: http://www.lehighton.com 

製程說明
1.  非接觸性以及非破壞性之量測系統 
> 載子遷移率
> 載子密度
> 載子濃度
> 片電阻值
2.  量測樣本尺寸: 最小需大於 40mm2, 最大可以量測 6"" wafer。
3.  適用Wafer 包括: GaAs, GaN, SiGe, InP, Si, etc.
4.  針對不同客戶需求提供手動或自動機台。
5.  可以排除 DC Hall 之費時耗資得測試, 如:
> 無須裁切 wafer 去特別製作測試樣本
> 無須做連接導線
6.  可在室溫下進行量測。
7. 對於難以檢測的GaN Wafers 可以得到可重現的量測資料。
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