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  • LEI 1600 serials
  • 產品廠牌: Lehighton
    產品簡述: 量测矽晶圆、化合物半导体、 金属导电薄膜之片电阻。

    原厂国家:美国
    制程应用:
    可应用量测于硅晶圆、化合物半导体、金属导
                             电薄膜。
    相关连结: http://www.lehighton.com 

製程說明
1.  非接触性以及非破坏性之量测系统 
> 载子迁移率
> 载子密度
> 载子浓度
> 片电阻值
2.  量测样本尺寸: 最小需大于 40mm2, 最大可以量测 6"" wafer。
3.  适用Wafer 包括: GaAs, GaN, SiGe, InP, Si, etc.
4.  针对不同客户需求提供手动或自动机台。
5.  可以排除 DC Hall 之费时耗资得测试, 如:
> 无须裁切 wafer 去特别制作测试样本
> 无须做连接导线
6.  可在室温下进行量测。
7. 对于难以检测的GaN Wafers 可以得到可重现的量测数据。