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  • EpiEL-100
  • 產品廠牌: MaxMile
    產品簡述:

    原廠國家:   美國
    製程應用:
    提供非破壞性epiwafers 之電性及
                        光性
    mapping檢測
    相關連結:
    http://www.maxmiletech.com/default.htm

製程說明
1. 節省製程時間,直接於晶片 LED 上量測光性及電性(Device properties)
2. 非破壞性的快速EL量測及EL mapping
3. 適用於2”~8” wafers
4. 適用波長範圍 : UV/VIS or VIS/IR, or 客製化.
5. 電流量測範圍 : 標準 >10e-6A, 選配 >10e-12A
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