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  • EpiEL-100
  • 產品廠牌: MaxMile
    產品簡述: 美国

    原厂国家:美国
    制程应用:
    提供非破坏性epiwafers 之电性及
                        旋光性mapping检测
    相关连结:
    http://www.maxmiletech.com/default.htm

製程說明
1. 节省制程时间,直接于芯片 LED 上量测旋光性及电性(Device properties)
2. 非破坏性的快速EL量测及EL mapping
3. 适用于2”~8” wafers
4. 适用波长范围 : UV/VIS or VIS/IR, or 客制化.
5. 电流量测范围 : 标准 >10e-6A, 选配 >10e-12A