原廠國家: 德國 製程應用: 1. 薄膜太陽能 (a-Si, CIGS) 2. 可架上的sensor: a. 橢圓儀 b. 反射儀 c. 片電阻量測 (4點探針 or eddy current) d. 霧度 (Haze) e. Camera f. 穿透率 (transmission) g. Crystallinty (SenSol V) 相關連結:http://www.sentech.de/ 關鍵字 :太陽能,量測
大型的量測系統,可知道不同參數在整片玻璃上的分佈狀況(mapping) 玻璃量測尺寸可達 2.2m*2.5m 可架上不同的感應器(sensor)作製程監控