原廠國家： 德國 製程應用： 橢圓儀及反射儀可使用於任何粗糙表面的光學薄膜之厚度,折射率及消光係數之量測 相關連結： http://www.sentech.de/ 關鍵字 ： 太陽能,量測
1.全光譜式橢圓儀 2.可於粗糙化過的晶圓(textured wafer)上量測雙層抗反層 3.在粗糙表面基板上可做快速及高靈敏的橢圓參數分析 4.具有高穩定度延相器以利分析 5.步階掃瞄式分析器 ,可做高精確的樣品分析
