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  • SI 500
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 感應式耦合電漿離子蝕刻系統
    原廠國家:   德國
    製程應用:
       包含但不局限於 III-V compound semiconductors (GaAs, InP, GaN, InSb), dielectrics, quartz, glass, silicon, silicon compounds (SiC, SiGe), and metals.
    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  蝕刻

製程說明
1. 對奈米結構的低傷害
2.高蝕刻率
3.獨特的 ICP 電漿源
4.動態的溫度控制
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