SemiconductorSENTECH

SI 500 D

  • BRAND： Sentech
  • DESCRIPTION： 电感耦合增强型等离子沉积系统

  • 原厂国家： 德国
    制程应用：
    1. 优异的高密度等离子体
    2. 平面ICP等离子体源沉积层
    3. 杰出性能的沉积层
    4. 动态温度控制
    相关连结：  http://www.sentech.de/
    关键字  ：   电浆化学气相沉积

优良的性能表现在硅烷沉积工艺为基础的在硅和III-V族半导体技术。