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  • SI 500 D
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 电感耦合增强型等离子沉积系统
    原厂国家: 德国
    制程应用:

    1. 优异的高密度等离子体
    2. 平面ICP等离子体源沉积层
    3. 杰出性能的沉积层
    4. 动态温度控制

    相关连结:  http://www.sentech.de/
    关键字  :   电浆化学气相沉积

製程說明
优良的性能表现在硅烷沉积工艺为基础的在硅和III-V族半导体技术。