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  • SI 500 PPD
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 感应式耦合电浆离子蚀刻系统
    原厂国家:  德国
    制程应用:
      可从室温 level 350C 沉积 SiO2, SINx, SiOxNy, and a-Si
    相关连结:    http://www.sentech.de/
    关键字  :     电浆化学气相沉积


製程說明
1.在制程温度与薄膜沉积选择上高度弹性的 电浆辅助化学气相沉积系统
2.真空的晶圆承载腔体(loadlock)
3.可用液态或气态的金属先驱物沉积 TEOS, SiC, and 和其他材料
4.最大到 200mm 晶圆