原厂国家: 德国 制程应用: 可从室温 level 到 350C 沉积 SiO2, SINx, SiOxNy, and a-Si 相关连结: http://www.sentech.de/ 关键字 : 电浆化学气相沉积
1.在制程温度与薄膜沉积选择上高度弹性的 电浆辅助化学气相沉积系统 2.真空的晶圆承载腔体(loadlock) 3.可用液态或气态的金属先驱物沉积 TEOS, SiC, and 和其他材料 4.最大到 200mm 晶圆