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  • 平面傳輸機械手臂/Robot
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 日本

    製程應用:  
    1. 適用於一般大氣、真空或者潮濕、酸鹼環境之平面傳輸機械手臂。
    2. 可應用於SemiLED waferFPD基板傳送作業
    3. 客製化滿足客戶需求
    相關連結:
    http://www.jel-robot.co.jp

製程說明

●應用於Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的生產設備。
●可整合於EFEM、Sorter及檢測系統。
●操作精度±0.1mm,可符合平面傳輸作業高精度的要求。
●可適用於無塵室,達到Class 2的潔淨度。
●真空環境可耐1.33 * 10-6Pa。