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  • 平面传输机械手臂/Robot
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 日本

    制程应用:  
    1. 适用于一般大气、真空或者潮湿、酸碱环境之平面传输机械手臂。
    2. 可应用于Semi、LED wafer及FPD基板传送作业
    3. 客制化满足客户需求
    相关连结:
    http://www.jel-robot.co.jp

製程說明

●应用于Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的生产设备。
●可整合于EFEM、Sorter及检测系统。
●操作精度±0.1mm,可符合平面传输作业高精度的要求。
●可适用于无尘室,达到Class 2的洁净度。
●真空环境可耐1.33 * 10-6Pa。