原廠國家： 芬蘭 製程應用： 潮濕的軟板、有機電子元件、CIGS薄膜太陽 能電池的緩衝層。 相關連結： http://www.beneq.com/ 關鍵字 ： 高介電係數,Batch ALD,批次式系統:ALD,原子層沉積
製程說明
