原廠國家: 芬蘭 製程應用: 潮濕的軟板、有機電子元件、CIGS薄膜太陽 能電池的緩衝層。 相關連結: http://www.beneq.com/ 關鍵字 : 高介電係數,Batch ALD,批次式系統:ALD,原子層沉積