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  • WCS500
  • 產品廠牌: Beneq
    產品簡述: 潮濕的軟板、有機電子元件、CIGS薄膜太陽能電池的原子層沉積系統

    原廠國家:   芬蘭
    製程應用:
       潮濕的軟板、有機電子元件、CIGS薄膜太陽
                          能電池的緩衝層。
    相關連結:   http://www.beneq.com/
    關鍵字   :   高介電係數,Batch ALD,批次式系統:ALD,原子層沉積

製程說明
1. 提供真實的捲對捲原子氣象沉積,軟板寬度最大可達500mm
2. 製程溫度最高可達150℃
3. 適合鍍膜於高分子基板以及其他軟板