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  • OptiPrime
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 橢圓量測薄膜的厚度、折射率、消光係數、線寬、深度以及表面形貌

    原廠國家:   美國
    製程應用:
       量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
    相關連結:   http://www.nandk.com/
    關鍵字   :   關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數

製程說明
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm
2. 反射量側與穿透量測的光點皆為50微米
3.可自動化量測且量測6吋, 8吋或12吋的晶圓
4. 非破壞性且即時的量測同時量測n/k/OCD
5. 高產出以及可直接量測元件內部