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  • OptiPrime-CD
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 椭圆量测薄膜的厚度、折射率、消光系数、线宽、深度以及表面形貌

    原厂国家: 美国
    制程应用:
       量测薄膜的厚度、折射率、消光系数、线宽、深度与表面形貌
    相关连结:   http://www.nandk.com/
    关键字  :   关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数



製程說明
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm
2. 反射量侧与穿透量测的光点皆为50微米
3. 可自动化量测且量测6吋, 8吋或12吋的晶圆
4. 非破坏性且实时的量测同时量测n/k/OCD
5. 高产出以及可直接量测组件内部