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產品廠牌：	n&k
產品簡述：	橢圓量測薄膜的厚度、折射率、消光係數、線寬、深度以及表面形貌数
原廠國家：美國製程應用：量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數、線寬、深度與表面形貌相關連結： http://www.nandk.com/ 關鍵字：關鍵尺寸量測量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數

製程說明

1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm
2. 反射量側與穿透量測的光點皆為50微米
3.可自動化量測且量測6吋, 8吋的晶圓
4. 非破壞性且即時的同時量測n/k/OCD
5. 高產出以及可直接量測元件內部
6. 機台體積小節省空間