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  • 3700-RT
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 橢圓量測薄膜的厚度、折射率、消光係數、線寬、深度以及表面形貌

    原廠國家:   美國
    製程應用:
       可量測5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋光
                         罩以及透明基板的薄膜的厚度、折射率、吸
                         收係數以及深度
    相關連結:    http://www.nandk.com/
    關鍵字  :  關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數

製程說明
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm
2. 反射量側光點為50微米,穿透量側光點為400微米
3.可自動化量測且量測5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋的光罩
4. 可量測透明的晶圓
5. 非破壞性且即時的量測
6. 高產出以及可直接量測元件內部