原廠國家: 美國 製程應用: 可量測5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋光 罩以及透明基板的薄膜的厚度、折射率、吸 收係數以及深度 相關連結: http://www.nandk.com/ 關鍵字 : 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm 2. 反射量側光點為50微米,穿透量側光點為400微米 3.可自動化量測且量測5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋的光罩 4. 可量測透明的晶圓 5. 非破壞性且即時的量測 6. 高產出以及可直接量測元件內部