原厂国家： 美国 制程应用： 可量测5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋光 罩以及透明基板的薄膜的厚度、折射率、吸 收系数以及深度 相关连结： http://www.nandk.com/ 关键字 ： 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm 2. 反射量侧光点为50微米，穿透量侧光点为400微米 3. 可自动化量测且量测5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋的光罩 4. 可量测透明的晶圆 5. 非破坏性且实时的量测 6. 高产出以及可直接量测组件内部
