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  • 3700-RT
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 椭圆量测薄膜的厚度、折射率、消光系数、线宽、深度以及表面形貌

    原厂国家: 美国
    制程应用:
      可量测5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋光
                        罩以及透明基板的薄膜的厚度、折射率、吸
                        收系数以及深度
    相关连结:   http://www.nandk.com/
    关键字  :    关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数




製程說明
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm
2. 反射量侧光点为50微米,穿透量侧光点为400微米
3. 可自动化量测且量测5平方英吋, 6平方英吋或8平方英吋的光罩
4. 可量测透明的晶圆
5. 非破坏性且实时的量测
6. 高产出以及可直接量测组件内部