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  • 5700-CDRT
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 椭圆量测薄膜的厚度、折射率、消光系数、线宽、深度以及表面形貌

    原廠國家:   美國
    製程應用:
       可量測5平方英吋或6平方英吋光罩的薄膜的
                         厚度、折射率、穿透率、線寬、深度與表面
                         形貌
    相關連結:   http://www.nandk.com/
    關鍵字   :  关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数

製程說明
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm
2. 反射量側光點為50微米,穿透量側光點為400微米
3. 可自動化量測且量測 5平方英吋或6平方英吋的光罩
4. 非破壞性且即時的量測
5. 高產出以及可直接量測元件內部