原厂国家： 美国 制程应用： 全自动化系统可应用于量测超厚以及超薄膜 的折射率、吸收系数和厚度；以及复杂的2-D 和3-D结构的深处的深度、线宽与表面形貌 相关连结： http://www.nandk.com/ 关键字 ： 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光谱仪量测波长范围为190~15000nm 2. 反射量侧与穿透量测的光点为50微米和85微米 3. 可自动化量测且量测6吋, 8吋或12吋的晶圆 4. 非破坏性且实时的量测 5. 高产出以及可直接量测组件内部
