Products

  • Olympian
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 全自动化量测超厚以及超薄膜的折射率、消光系数和厚度;以及复杂的2-D和3-D结构的深处的深度、线宽与表面形貌

    原厂国家: 美国
    制程应用:
      全自动化系统可应用于量测超厚以及超薄膜
                        的折射率、吸收系数和厚度;以及复杂的2-D
                        和3-D结构的深处的深度、线宽与表面形貌
    相关连结:  http://www.nandk.com/
    关键字  :   关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数


製程說明
1. 光谱仪量测波长范围为190~15000nm
2. 反射量侧与穿透量测的光点为50微米和85微米
3. 可自动化量测且量测6吋, 8吋或12吋的晶圆
4. 非破坏性且实时的量测
5. 高产出以及可直接量测组件内部