Products

  • TFS NX300
  • 產品廠牌: Beneq
    產品簡述: 硅晶太阳能电池背面钝化层的原子层沉积系统

    原厂国家: 芬兰
    制程应用:
      硅晶太阳能-表面钝化
    相关连结:   http://www.beneq.com/
    关键字    :   高介电系数, Batch ALD, 批次式系统,ALD,原子层沉积


製程說明
1.模块化设计, 可依客户想法选择炉管数目
2.批式沉积系统
3.全自动化系统, 高产出
4 低温制程
5 有效增加电池效率