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  • SIPAR
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述:

    原廠國家:   德國
    程應用:
      可應用在同時需要原子層鍍膜與電漿化學鍍膜的製程需求.
    相關連結: http://www.sentech.de/

製程說明

1.較低的價格,更高的產出量和更小的空間
2.ALD層與PECVD薄膜在同一反應腔產出混和型多層且均勻一致的薄膜
3.快速切換及快速清洗在ALD層和PECVD薄膜之間。

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