Products

  • STP Machine
  • 產品廠牌: NTT-AT
    產品簡述: 熱壓旋轉塗佈機
    原廠國家:   日本
    製程應用:   1. 可同時應用於堆疊式結構與溝渠式結構之
                             半導體製程
                         2. 可有效降低因旋轉塗佈之材料損失

    相關連結:
      
    www.ntt-at.com/
製程說明
1. 有效的空間利用,設備尺寸:750x750x1500 mm
2. 可應用於 4, 6, 8, 12 inches 晶圓