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  • STP Machine
  • 產品廠牌： NTT-AT
    產品簡述： 熱壓旋轉塗佈機
    原廠國家：   日本
    製程應用：   1. 可同時應用於堆疊式結構與溝渠式結構之
                             半導體製程
                         2. 可有效降低因旋轉塗佈之材料損失
    相關連結：           www.ntt-at.com/
製程說明
1. 有效的空間利用，設備尺寸：750x750x1500 mm
2. 可應用於 4, 6, 8, 12 inches 晶圓
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