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NTT-AT
STP Machine
產品廠牌:
NTT-AT
產品簡述:
熱壓旋轉塗佈機
原廠國家:
日本
製程應用:
1. 可同時應用於堆疊式結構與溝渠式結構之
半導體製程
2. 可有效降低因旋轉塗佈之材料損失
相關連結:
www.
ntt
-
at
.com/
製程說明
1. 有效的空間利用,設備尺寸:750x750x1500 mm
2. 可應用於 4, 6, 8, 12 inches 晶圓
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