原廠國家: 美國 製程應用: - 化學氣相沉積化學氣相沉積 - 原子層沉積系統 - 氧化層 相關連結: http://teledyne.com/ 關鍵字 : Ozone/O3
- 可產生高純度高濃度臭氧 - 相較其他製程氣體而言較不產生環境汙染之問題 - 低售價 - 無耗材 - OG-5000-A 臭氧產量 210g/hr - OG-5000-B 臭氧產量 150g/hr