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  • 臭氧產生器 OG-5000
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 高濃度臭氧產生器使用於有臭氧的製程
    原廠國家: 美國
    製程應用: - 化學氣相沉積化學氣相沉積                   
                         - 原子層沉積系統                   
                         - 氧化層                  
    相關連結: http://teledyne.com/
    關鍵字   : Ozone/O3
製程說明
- 可產生高純度高濃度臭氧
 - 相較其他製程氣體而言較不產生環境汙染之問題
 - 低售價
 - 無耗材
 - OG-5000-A 臭氧產量 210g/hr
 - OG-5000-B 臭氧產量 150g/hr
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