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  • Etchlab 200
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 反應離子電漿刻蝕
    原廠國家:   德國
    製程應用:
      
    1. 經濟型等離子刻蝕設備
    2. 可升級: 真空LoadLock
    3. SENTECH控制軟體

    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  蝕刻

製程說明
Etchlab200可以適用各種的蝕刻工藝,如矽,二氧化矽,金屬,III-V化合物,和聚合物
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