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  • Etchlab 200
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 反应离子电浆刻蚀
    原厂国家: 德国
    制程应用:

    1. 经济型等离子刻蚀设备
    2. 可升级: 真空LoadLock
    3. SENTECH控制软件

    相关连结:  http://www.sentech.de/
    关键字  :   蚀刻

製程說明
Etchlab200可以适用各种的蚀刻工艺,如硅,二氧化硅,金属,III-V化合物,和聚合物