原厂国家： 德国 制程应用： 1. 经济型等离子刻蚀设备 2. 可升级: 真空LoadLock 3. SENTECH控制软件 相关连结： http://www.sentech.de/ 关键字 ： 蚀刻
Etchlab200可以适用各种的蚀刻工艺，如硅，二氧化硅，金属，III-V化合物，和聚合物
