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  • SI 500 D
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 電感耦合增強型等離子沉積系統
    原廠國家:   德國
    製程應用:
      
    1. 優異的高密度等離子體
    2. 平面ICP等離子體源沉積層
    3. 傑出性能的沉積層
    4. 動態溫度控制

    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  電漿化學氣相沉積

製程說明
優良的性能表現在矽烷沉積工藝為基礎的在矽和III-V族半導體技術。
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