Products

  • SI 500
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 感应式耦合电浆离子蚀刻系统
    原厂国家: 德国
    制程应用:
    包含但不局限于 III-V compound semiconductors (GaAs, InP, GaN, InSb), dielectrics, quartz, glass, silicon, silicon compounds (SiC, SiGe), and metals.
    相关连结:  http://www.sentech.de/
    关键字  :   蚀刻

製程說明
1. 对奈米结构的低伤害
2.高蚀刻率
3.独特的 ICP 电浆源
4.动态的温度控制