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  • SCR3160CSN
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大氣用機械手臂
    原廠國家:   日本
    製程應用:
        半導體
    產品名稱 :     3軸圓柱型機械手臂
    使用環境 :    
    無塵室內的大氣環境
    手臂        :    
    單臂
    到達距離 :    
    340mm (手臂第3關節中心基準)
    升降軸最大行程 :
    200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
    可搬運重量 :
    3kgf (手臂第3關節部分的承受重量)
製程說明
1.  無塵室用3軸圓柱型機械手臂
2.  保持高C/P值和高速傳輸特性,適用於2吋-300mm晶圓傳輸的新型單臂機械手臂
3.  採用即使在負載發​​生或者加減速過大的情況下,也能夠避免馬達丟步現象的閉環控制方式,有效地提高了機械手臂
     的可靠性
4.  馬達配備絕對值編碼器,機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置,縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位
     置原點的時間
5.  絕對值編碼器為機械式,不需要更換電池
6.  可以和舊型號的本司產品相容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對現有設備的升級改造
7.  高強度手臂・手臂第3關節部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block,Chuck,晶圓的重量)
8.  機械手臂標準臂長:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9.  可根據設備的配置選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
10.可選購伯努利方式Chuck(Option)
11.電源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
12.控制通訊方式:串列RS232C及並列I/O方式