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  • SCR3160CSN
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大气用机械手臂
    原厂国家:   日本
    制程应用:
        半导体
    产品名称 :     3轴圆柱型机械手臂
    使用环境 :    
    无尘室内的大气环境
    手臂        :    
    單臂
    到达距离 :    
    340mm (手臂第3关节中心基准)
    升降轴最大行程 :
    200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
    可搬运重量 :
    3kgf (手臂第3关节部分的承受重量)
製程說明
1.  无尘室用3轴圆柱型机械手臂
2.  保持高C/P值和高速传输特性,适用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂
3.  采用即使在负载发生或者加减速过大的情况下,也能够避免马达丢步现象的死循环控制方式,有效地提高了机械手
     臂的可靠性
4.  马达配备绝对值编码器,机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置,缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位
     置原点的时间
5.  绝对值编码器为机械式,不需要更换电池
6.  可以和旧型号的本司产品兼容(安装尺寸,性能互换),方便客户对现有设备的升级改造
7.  高强度手臂・手臂第3关节部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block,Chuck,晶圆的重量)
8.  机械手臂标准臂长:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9.  可根据设备的配置选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
10.可选购伯努利方式Chuck(Option)
11.电源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
12.控制通讯方式:串行RS232C及并列I/O方式