Compound SemiconductorJEL 

1.スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです
2.低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです
3.急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
4.アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
5.バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
6.従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能
7.高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む）
8.アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9.装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
10.ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
11.電源：DC24V±10% 15A   真空：-53kPa以上
12.インターフェイス：RS232C及びパラレルフォトI/O