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  • SCR3160CSN
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大気用クリーン搬送ロボット
    製造国    :   日本
    使用行程:
        半導体
    製品名     :    3軸円筒座標型クリーンロボット
    設置環境 :    
    クリーンルーム内大気
    アーム     :    
    シングルアーム
    到達距離 :    
    340mm (アーム第3関節中心到達距離)
    Z軸ストローク :
    200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
    可搬重量 :
    3kgf (第3関節換算)(ワーク、リストブロック、チャックを含む)
製程說明
1.スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです
2.低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです
3.急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
4.アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
5.バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
6.従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載せ替えが可能
7.高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む)
8.アームバリエーション:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9.装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
10.ベルヌーイチャックを搭載可能(オプション)
11.電源:DC24V±10% 15A   真空:-53kPa以上
12.インターフェイス:RS232C及びパラレルフォトI/O