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  • GCR4210_STEPPING
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大氣用機械手臂
    原廠國家:   日本
    製程應用:
        半導體
    產品名稱 :     4軸水平多關節型機械手臂
    使用環境 :    
    無塵室內的大氣環境

製程說明
1.  無塵室用多軸結構設計,4軸水平多關節型機械手臂GCR4000-PM系列。
2.  適用於300mm半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運。
3.  機械手臂標準臂長:210mm
4.  機械手臂可以單獨對應2個FOUP
5.  Z軸(升降軸)標準長度: 300mm
6.  可搬運重量:手臂第3關節部分可承受3kgf以下
7.  可裝配運轉監視器
8.  全部驅動軸採用絕對值編碼器規格的2相步進馬達
9.  採用S字加減速控制及運轉軌跡的最佳化, 實現高速, 高精度地搬運晶圓
10.S曲線動作效率比GHR4000類型機械手臂快1.4倍
11.晶圓固定方式:真空吸附式,嵌入式,邊握式
12.Chuck材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,陶瓷等多種材質
13.依據被搬運物體種類,設備配置等可選擇最佳的Chuck
14.根據機構的配置可以選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
15.電源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
16.控制通訊方式:串列RS232C或並列I/O