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  • GCR4210_STEPPING
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大气用机械手臂
    原厂国家:   日本
    制程应用:
        半导体
    产品名称 :     4轴水平多关节型机械手臂
    使用环境 :    
    无尘室内的大气环境

製程說明
1.  无尘室用多轴结构设计,4轴水平多关节型机械手臂GCR4000-PM系列。
2.  适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。
3.  机械手臂标准臂长:210mm
4.  机械手臂可以单独对应2个FOUP
5.  Z轴(升降轴)标准长度: 300mm
6.  可搬运重量:手臂第3关节部分可承受3kgf以下
7.  可装配运转监视器
8.  全部驱动轴采用绝对值编码器规格的2相步进马达
9.  采用S字加减速控制及运转轨迹的优化, 实现高速, 高精度地搬运晶圆
10.S曲线动作效率比GHR4000类型机械手臂快1.4倍
11.晶圆固定方式:真空吸附式,嵌入式,边握式
12.Chuck材质:CFRP(碳纤维),铝合金,陶瓷等多种材质
13.依据被搬运物体种类,设备配置等可选择最佳的Chuck
14.根据机构的配置可以选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
15.电源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
16.控制通讯方式:串行RS232C或并列I/O