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  • GTCR5280_300mm
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大氣用機械手臂
    原廠國家:   日本
    製程應用:
        半導體
    產品名稱 :     5軸水平多關節機械手臂
    使用環境 :    
    無塵室內的大氣環境

製程說明
1.  可用於300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節機械手臂GTCR5000系列。
2.  搭載Twin Chuck結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。
3.  適用於300mm半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運。
4.  機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm
5.  機械手臂可以單獨對應2個FOUP(210mm臂長), 或者3個FOUP(280mm臂長)
6.  Z軸(升降軸)標準長度: 300mm
7.  可搬運重量:手臂第3關節部分的承受重量 4kgf以下
8.  Twin Chuck結構能夠縮短晶圓交換時間
9.  可裝配運轉監視器
10.全部驅動軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達
11.採用S曲線加減速控制方式以及對運轉軌跡的最佳化調整,實現高速,高精度地搬運半導體晶圓
12.晶圓固定方式:真空吸附式,嵌入式,邊握式,伯努利非接觸式
13.Chuck材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,陶瓷等多種材質.依據被搬運物體種類和設備配置可選擇最佳的Chuck
14.根據機構的配置可以選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
15.電源:單相 AC200V±10% 10A    真空:-53kPa以上
16.控制通訊方式:串列RS232C及並列I/O方式