Compound SemiconductorJEL 

GTCR5280_300mm

  • BRAND： JEL
  • DESCRIPTION： 大气用机械手臂

  • 原厂国家：   日本
    制程应用：        半导体
    产品名称 :     5轴水平多关节机械手臂
    使用环境 :         无尘室内的大气环境

1.  可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节机械手臂GTCR5000系列。
2.  搭载Twin Chuck结构能够实现和双臂结构同样的功能。
3.  适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。
4.  机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
5.  机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）, 或者3个FOUP（280mm臂长）
6.  Z轴（升降轴）标准长度: 300mm
7.  可搬运重量:手臂第3关节部分的承受重量 4kgf以下
8.  Twin Chuck结构能够缩短晶圆交换时间
9.  可装配运转监视器
10.全部驱动轴采用绝对值编码器规格的AC伺服马达
11.采用S曲线加减速控制方式以及对运转轨迹的优化调整,实现高速，高精度地搬运半导体晶圆
12.晶圆固定方式：真空吸附式，嵌入式，边握式，伯努利非接触式
13.Chuck材质：CFRP(碳纤维),铝合金，陶瓷等多种材质.依据被搬运物体种类和设备配置可选择最佳的Chuck
14.根据机构的配置可以选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
15.电源：单相 AC200V±10% 10A    真空：-53kPa以上
16.控制通讯方式：串行RS232C及并列I/O方式