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  • GTCR5280_300mm
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大气用机械手臂
    原厂国家:   日本
    制程应用:
        半导体
    产品名称 :     5轴水平多关节机械手臂
    使用环境 :    
    无尘室内的大气环境

製程說明
1.  可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节机械手臂GTCR5000系列。
2.  搭载Twin Chuck结构能够实现和双臂结构同样的功能。
3.  适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。
4.  机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
5.  机械手臂可以单独对应2个FOUP(210mm臂长), 或者3个FOUP(280mm臂长)
6.  Z轴(升降轴)标准长度: 300mm
7.  可搬运重量:手臂第3关节部分的承受重量 4kgf以下
8.  Twin Chuck结构能够缩短晶圆交换时间
9.  可装配运转监视器
10.全部驱动轴采用绝对值编码器规格的AC伺服马达
11.采用S曲线加减速控制方式以及对运转轨迹的优化调整,实现高速,高精度地搬运半导体晶圆
12.晶圆固定方式:真空吸附式,嵌入式,边握式,伯努利非接触式
13.Chuck材质:CFRP(碳纤维),铝合金,陶瓷等多种材质.依据被搬运物体种类和设备配置可选择最佳的Chuck
14.根据机构的配置可以选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
15.电源:单相 AC200V±10% 10A    真空:-53kPa以上
16.控制通讯方式:串行RS232C及并列I/O方式